Crossref Citations
This article has been cited by the following publications. This list is generated based on data provided by Crossref.
Кузнецова, Н.А.
Беклемышев, В.И.
and
Грибов, Б.Г.
2020.
ВЛИЯНИЕ ФОТОГЕНЕРАТОРА КИСЛОТЫ В АНТИОТРАЖАЮЩЕМ ПОКРЫТИИ НА ПРОФИЛЬ ЭЛЕМЕНТОВ, ФОРМИРУЕМЫХ В ФОТОРЕЗИСТЕ, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника".
Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника,
p.
35.
Кузнецова, Н.А.
Малимоненко, Н.В.
Билданов, М.А.
Варламов, Д.А.
and
Грибов, Б.Г.
2021.
ВЛИЯНИЕ КАТАЛИЗАТОРА ТЕРМООТВЕРЖДЕНИЯ В АНТИОТРАЖАЮЩЕМ ПОКРЫТИИ НА ПРОФИЛЬ ЭЛЕМЕНТОВ ФОТОРЕЗИСТА, "Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника".
Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника,
p.
69.