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Fabrication, caractérisation et modélisation de micropoutres multimorphes intégrant un film piézoélectrique d'AlN comme actionneur
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- Journal:
- Mechanics & Industry / Volume 8 / Issue 3 / May 2007
- Published online by Cambridge University Press:
- 17 August 2007, pp. 267-278
- Print publication:
- May 2007
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